TY  - RPRT
TI  - Laser fabrication of vibrating microcavities on silicon: Formation dynamics and frequency tunability
AU  - Belen Valiente
AU  - Gonzalo Gomez-Munoz
AU  - Mario Garcia-Lechuga
AU  - Irene Solana
AU  - Fernando Agulló-Rueda
AU  - David Grojo
AU  - Angel Rodriguez-Fernandez
AU  - Javier Solis
AU  - Jan Siegel
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2611.07742
ID  - 2611.07742
ER  -