TY - RPRT TI - Effect of Rapid Thermal Annealing on the Superconductivity of ALD-Grown TiN thin films AU - Z. Sadirkhanov AU - A. Tuigynbek AU - M. Surendran AU - A. Jakyp AU - L. Akisheva AU - A. T. Hammack AU - A. B. Tikhonov AU - A. Kemelbay PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2611.00424 ID - 2611.00424 ER -