TY  - RPRT
TI  - Modification of optical properties in ultrathin ALD-grown NbN layers using oxygen plasma treatment
AU  - Mustafa Teke
AU  - Nitesh Yerra
AU  - Alireza Sadeghi
AU  - Mario Ziegler
AU  - Detlef Born
AU  - Nan Du
AU  - Marco Diegel
AU  - Uwe Hübner
AU  - Sahitya V. Vegesna
AU  - Heidemarie Krüger
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.32553
ID  - 2610.32553
ER  -