TY  - RPRT
TI  - Effect of oxygen plasma treatment on the structural and superconducting properties of atomic-layer-deposited NbN thin films
AU  - Nitesh Yerra
AU  - Mustafa Teke
AU  - Felix Otto
AU  - Marco Diegel
AU  - Detlef Born
AU  - Uwe Hübner
AU  - Nan Du
AU  - Mario Ziegler
AU  - Sahitya Varma Vegesna
AU  - Heidemarie Krüger
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.32529
ID  - 2610.32529
ER  -