TY  - RPRT
TI  - Image resolution enhancement for advanced semiconductor nodes
AU  - Lucas Rencker
AU  - Omid Tajalizadehkhoob
AU  - Khalid Elsayed
AU  - Artem Khachaturiants
AU  - Helda Pahlavani
AU  - Yan Guo
AU  - Jakob van de Laar
AU  - Erik Simons
AU  - Niranjan Saikumar
AU  - Hamed Sadeghian
PY  - 2026
DO  - 10.1117/12.3011239
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.05809
ID  - 2610.05809
ER  -