TY  - RPRT
TI  - Dopant metrology in advanced FinFETs
AU  - G. P. Lansbergen
AU  - R. Rahman
AU  - G. C. Tettamanzi
AU  - J. Verduijn
AU  - L. C. L. Hollenberg
AU  - G. Klimeck
AU  - S. Rogge
PY  - 2011
UR  - https://arxiv.org/abs/1111.4238
ID  - 1111.4238
ER  -